多晶硅铸锭炉设备控制系统方案

系统原理
       多晶硅铸锭炉工作过程分为：抽真空、加热、熔化、长晶、退火、冷却等步骤；核心控制功能为热场温度控制及隔热笼提升运动控制。
系统配置
 * 自动化控制器: e-Control PLC，是控制系统的核心硬件平台。
 * 人机界面硬件: TPC1503工业级15寸触摸式平板电脑，稳定可靠。
 * 人机界面软件: NETSCADA组态软件开发平台，提供多晶硅铸锭炉相关功能模块。

 
系统特点:
 * 可选择在线/离线两种方式编辑工艺配方，编辑过程中可实时预览工艺配方曲线。
 * 存储海量功率文件，可选择之前任意一炉功率文件预览确认后下载到PLC执行。
 * 系统自动生成批次号存储生产过程数据,可通过批次号快速查询,方便质量追溯。
 * 系统可自动生成和打印报表、历史曲线等，并可直接导出为EXCEL文件。
 * 控制系统抗干扰能力强，温度/功率控制切换无扰动，温控精度高可达到±0.5℃。
 * 多台设备组网方便，可轻松实现集中远程监控等网络化管理。