超声波传感器在全自动硅片上料机中的应用

问题描述

　　全自动硅片上料机是将硅片盒里的硅片自动装载到清洗花篮里，以方便后期进入槽式清洗设备中进行清洗及取放。由于硅片花篮的每格的空间只能装一片硅片，所以一旦硅片有水或者其他原因造成取两片时，在装载过程中就会造成硅片碎裂。这不仅影响了生产效率，也增加了生产成本。

　　要实现精确取料，必须对检测设备的精度有更高的要求。

解决方案

　　科瑞采用超声波单双张检测传感器为客户解决了这一难题。这一系列传感器运用声波原理，不管硅片的厚度，双张信号只跟实际硅片的单张或双张有关，因此无需设置厚度即可直接进行检测。

　　不同于常规超声波单双张检测传感器，科瑞dbk+4系列超声波传感器可以选择不同的检测模式，即便硅片上沾有水膜或其他原因影响了硅片，dbk+4系列超声波传感器也可以精确检测出硅片的单双张。因此无论在何种情况下，该系列超声波传感器都是此方案的绝佳选择.

方案价值

　　该解决方案简单、有效。小型化的外壳尺寸可以使客户更方便的设计安装于原有设备上。为客户完美解决了取料准确这一难题，节约了生产成本，提高了生产效率。

所用产品

dbk+4系列超声波传感器 dbk+4/3CDD/M18 E+S dbk+4/3BEE/M18 E+S

产品特色

• 小型化外壳尺寸，多种尺寸可选

• 单张、双张准确检测

• 广泛应用于各种晶片

• 不需自学习（即插即用）

• 双张和缺张输出

• 3个外部控制输入可调：材料、触发和自学习的选择

• 发射器—接收器安装间距从20～60mm可选

• 非常紧凑的M12螺纹发射器和接收器

• 自学习可选：例如检测带水膜的薄片

• 通过LinkControl参数化，可通过线缆选择检测模式