半导体匀胶显影机传感器选型推荐应用案例
2021/9/17 18:05:50
1、检测晶圆盒有无
产品方案：PJTI-S10N
2、机械手拿出晶圆盒内，检测晶圆有无
产品方案：FF 403+FFRS-310
3、匀胶显影机的主要单元检测晶圆的流程,检测定位
产品方案：FF-403+ FFRE-310
4、晶圆表面水冲洗边缘曝光等功能完成，最后检测
产品方案：BGS-S10N
5、检测气缸磁性开关是否到位
产品方案：FD-14R
6、压力开关控制整台设备气压
产品方案：FKP70BP-010-F3
7、导轨电源
产品方案：FP300D- 24MDA
8、固态继电器20A,40A直流控制交流
产品方案：WLHJP-22 25A或WLHJP-22 40A
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王静
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