【应用案例】总线阀岛应用于硅晶片研磨设备

单晶衬底研磨示意图

AU7 1123系列阀岛产品结构标识如下：

总线阀岛强大的扩展能力，支持扩展AU7 500系列卧式模块：

AU7 1123系列阀岛分有8/12/16三种点位规格，均支持双阀和单阀，本体集成16DI和16组传感器供电电源。

目前支持三大品牌九个系列电磁阀

阀岛订货号：AU7 1123-xxx08-PNT

xxx 表示支持的电磁阀类型

① SY5—SMC SY5X20系列

② SY3—SMC SY3X20系列

③ F14--VUVG-LK14系列（1023系列支持）

④ F10--VUVG-LK10系列

⑤ 4V1--AirTAC 4V1xx-06B系列

⑥ 5V1--AirTAC 5V1xx-06B系列

⑦ 7V1--AirTAC 7V110/120/130-06B系列

⑧ 4V2-- AirTAC 4/5V2xx-06/08B系列

华茂欧特除了常规款总线阀岛，还推出一款经济型总线阀岛，本体不带DI点位，同样通过WellAUBUS总线支持扩展16个模块/阀岛，支持与1123系列阀岛混合扩展。

<section powered-by="xiumi.us" style="margin: 10px 0px; padding: 0px; outline: 0px; max-width: 100%; box-sizing: border-box; color: rgba(0, 0, 0, 0.9); text-align: center;" helvetica="" neue",="" "pingfang="" sc",="" "hiragino="" sans="" gb",="" "microsoft="" yahei="" ui",="" yahei",="" arial,="" sans-serif;="" letter-spacing:="" 0.544px;="" text-wrap:="" wrap;="" background-color:="" rgb(255,="" 255,="" 255);="" text-align:="" center;="" line-height:="" 0;="" overflow-wrap:="" break-word="" !important;"="">