为半导体关键设备联接“保驾护航” ——魏德米勒重载接插件解决方案在PVD镀膜设备中的应用

我国半导体设备领域长期受国外技术封锁与垄断，加快自主研发势在必行。诸多国内半导体设备厂商强势崛起，如某领先集成电路与真空仪器设备厂商，秉持 “引领真空技术，支撑科技创新，促进产业发展” 使命，为关键设备国产化贡献卓著。

项目挑战

该客户研制的 PVD 镀膜设备，系半导体工艺国产化重要成果。为精准把控蒸发或溅射的温度、压力、时间等工艺参数，客户需将设备的传感器、控制器、继电器、电源等电气自动化元件相联接，以实现电力、信号与数据传输。针对关键电气联接部位的重载接插件，该客户着重考量的因素涵盖：

●如何满足设备运行环境的要求

（1）PVD镀膜过程中产生的化学气体或蒸气往往对电气材料产生腐蚀；

（2）在一些特定的镀膜工艺中，可能会产生高温和高压。

●如何提高机械性能稳定性

PVD设备运行过程中，连接器需要频繁承受影响稳定性的机械应力，如振动、冲击、插拔等。

●如何适应机柜设计，快速完成效果测试

如何根据电气柜空间设计要求采用合适的重载联接技术，并通过不同的连接器出线方式快速满足设备测试要求，是客户的又一困扰所在。

该客户需要匹配的重载接插件解决方案以解决上述电气柜联接项目遇到的挑战，并满足半导体终端客户对PVD镀膜设备的高标准要求。经过多方考量，最终找到了经验丰富的电联接专家——魏德米勒。

解决方案

考虑到上述要求，魏德米勒凭借专业的技术能力和快速的服务能力，为客户的PVD真空镀膜设备项目提供了一套精准适用的重载接插件解决方案。

●高防护设计

（1）采用压铸铝制成，其 IP65 / NEMA型 4X 外壳，防尘、防潮、防腐蚀；

（2）可在-40°C至+125°C的宽温度范围工作；

（3）防电磁干扰，可安全传输高达35A的电流以及高达830V的电压。

●抗机械压力性能

（1）清晰的联锁系统采用不锈钢制成，通过独有的专利保护的弹簧系统为接插件外壳联锁提供紧密接合，防止意外打开；

（2）坚固的机械结构能够承受设备振动、冲击和机械应力。

●快速沟通响应和效果测试

魏德米勒与客户进行了深入详细的沟通，根据客户电气柜设计的特殊要求，为分源端和目标端的两路重载都提供了顶出和侧出两种出线方案，并迅速进行了实际效果测试。

客户的益处

采用魏德米勒的重载接插件解决方案后，该客户的PVD真空镀膜设备研制项目得以顺利实施，并获得了一系列重要收益：

●终端客户使用更为放心

通过高防护设计的重载接插件解决方案，该客户大大提升了设备运行的安全可靠性，为其终端客户提供了腐蚀、高温等工艺环境下的安心之选。

●提升设备性能和竞争力

基于魏德米勒重载接插件解决方案出色的机械性能，PVD真空镀膜设备的电气自动化系统获得了更加稳定可靠的联接能力，为解决半导体设备国产化进程中的卡脖子问题贡献一己之力。

●快速完成选型、调试和交付

基于魏德米勒专业的咨询和定制方案服务能力，大大简化了前期咨询和选型过程，快速找到符合客户电气柜设计需求的联接方案。在交期紧张的情况下，仅用1周就完成了效果测试。

最终效果

随着半导体国产化进程加快，对关键半导体设备的要求也越来越高，魏德米勒凭借强大的本地化定制服务能力，持续为客户提供设备的电气联接项目保驾护航，为关键国产化设备的崛起提供助力。

关于魏德米勒 

作为经验丰富的工业联接专家，魏德米勒为全球客户和合作伙伴提供关于工业环境中的电力、信号和数据方面的产品、解决方案和服务。成立170余年来，魏德米勒集团公司至今已在全球设立多家分支机构，包括研发中心、生产基地和销售公司。

1994年魏德米勒与中国结缘，开始了在中国市场的高速发展。在华深耕30载，魏德米勒始终秉持着“在中国，‘魏’中国”理念，坚持以本土客户为本，在上海和苏州设有两大卓越研发中心，进行电子产品和电气联接产品的研发和技术创新。位于苏州的工厂于2019年升级扩建，通过高度自动化及数字化生产，确保了生产的高效和产品的卓越品质。魏德米勒牢牢把握行业发展脉搏，在专注于传统行业需求的同时，持续加大在中国新基建、锂电、光伏、风电、半导体等新兴行业的投入，赋能行业发展，助力更多客户及合作伙伴直面挑战，应对未来发展。