【应用案例】卡装式IO模块应用于双面研磨机

双面研磨机用于两面平行的陶瓷、半导体硅片、计算机支架零件等硬脆材料的双面研磨加工。双面研磨机通过用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨加工的磨床。

1、工作原理

双面研磨机能够避免由夹具的粘结误差及薄片两面的应力差引起的变形问题。

研磨的工件放在工件行星轮内，上下均有研磨盘。研磨垫固定在上研磨盘和下研磨盘的表面，被加工晶片放在由中心齿轮和内齿圈组成的差动轮系内。研磨压力则由气缸加压上研磨盘实现。

为减少研磨时晶片所受的作用力，一般使上研磨盘和下研磨盘分别以大小相等、方向相反的角速度旋转。晶片的运动由行星轮带动，同时上、下研磨盘研磨压力的作用下产生自转，因此晶片的运动是行星运动和自转运动的合成运动。

2、解决方案

此案例是由PLC+IO模块+PT+电气比例阀+低摩擦气缸的组合实现精密压力控制。双面研磨机通过主轴驱动上下两个研磨盘旋转，与工件表面形成接触，使用摩擦磨削的方式实现对工件表面材料的加工来改善工件的尺寸和表面质量。

研磨机的上盘采用机械锁定的防落装置，确保上盘升起时取放片操作的安全性。在研磨机需要监控的点位较多且集中的情况下，适用于通过背板总线扩展的AUEX卡装式模块。

3、应用效果

AUEX卡装式模块只有耦合器需要负载和系统两组电源，扩展模块不需要接电源，更节省了接线的人工成本。在维护时，端子可插拔，无需重新接线；卡装式安装，使拆卸模块更便捷；耦合器自带硬件拨码，直接调节拨码设置站号等都可以缩短停机时间。