ifm易福门传感技术赋能半导体智能制造！让工厂数据一目了然！

在半导体行业飞速发展的当下，智能制造已成为推动产业升级的关键力量。随着全球对芯片需求的持续增长，半导体制造企业面临着如何在提升生产效率的同时实现资源高效利用与可持续发展的挑战。

作为行业领先的传感器解决方案供应商，ifm易福门凭借创新技术与智能化应用，为半导体制造的各个环节提供了卓越的解决方案，助力企业优化生产流程、降低运营成本。

特别是在Sub-fab（工厂辅助设施）流程中，自动化技术的应用正逐渐成为提升效率与可持续发展的关键。今天，让我们深入探讨ifm如何通过创新解决方案，助力这一领域实现降本增效。

一、化学品输送系统（CDS）

化学品被广泛用于半导体生产的多个阶段，如沉积、光刻胶涂覆、光刻、蚀刻、清洗、薄膜沉积和抛光。为确保化学品的纯度，非接触式液位测量被广泛用于检测化学品液位。电容式测量技术只需进行简单的空罐调整并辅以实现理想设置的显示指南，就能克服管道或储罐壁上的气泡或附着物所带来的挑战。

•KQ10系列 连续性监控液位传感器：该系列传感器可安装在非金属储罐外壁，实现料位监测。其配备的清晰可见的LED百分比显示，使用户能够轻松掌握液位变化。此外，它还提供三个点料位监测位置，可靠区分空载、满载和溢流状态。

•KI60系列 电容式接近开关：该系列开关可在介质内或介质外运行，透过非金属储罐壁进行检测，有效抑制沉积物的影响。结合IO-Link技术，将点液位检测系统升级为实时液位状态监测，为企业提供更精准的化学品管理。

二、设备健康管理：通过预测性维护提升设备可用性

在半导体制造过程中，真空系统是维持无菌环境的关键支持系统，干式真空泵的稳定运行至关重要。ifm通过振动监测、流量监测和温度监测，为设备健康管理提供了全方位的解决方案：

1.基于振动监测的预测性维护：ifm振动传感器（VSA） 和振动分析模块（VSE） 可实时监测泵的健康状况，防止增压泵和干泵发生灾难性故障。通过监测冲击、疲劳、摩擦、严重程度和温度等五个方面的机器问题，以及滚动轴承等特定部件，传感器能够提前检测到即将发生的故障，减少计划外停机时间，实现能源优化。

2.通过持续监测流量确保适当的冷却效果：冷却水用于散发泵内压缩过程中产生的热量。ifm的SU超声波流量计 采用无机械部件的设计，提供高精度测量，最大限度地减少压降，确保冷却工艺的高效运行。

3.通过连续测量温度保持泵的功能：泵的外壳温度升高通常表明摩擦增加，可能导致泵故障。ifm的TP  + TS 分体式测温方案可对泵体表面温度进行实时监测，避免因温度异常导致的停机时间。

通过IO-Link技术，所有传感器采集的数据可实时发送到更高层级的软件系统，实现趋势预测和分析，为企业提供实时的设备健康监测。

三、超纯水系统的智能化管理

超纯水是半导体生产中的关键资源，因为即使是微小的杂质也会导致重大的生产损失，导致数百小时的半导体晶圆生产无效。ifm为超纯水系统的各个环节提供了智能化监测解决方案：

1.通过电导率测量确保水质：ifm的LDL电导率传感器 是一种高性价比的解决方案，能够实时监测水中低至0.04μS/cm的电导率，确保供水系统的稳定和高效运行，指导净化工艺的调整。

2.超纯水出水管 | 产出流量监测：SU Puresonic超声波流量传感器 采用超声波技术，可精确测量高达1000L/min的超纯水流量，并集成温度测量功能，提供高度准确的在线测量过程，确保工艺的一致性和产品质量。

3.通过高准确度液位测量改善水的分配：ifm的LW非接触式雷达液位传感器 采用80 GHz测量技术，可对高达10米的储罐进行高精度测量（±2 mm），确保资源的可用性、防止干转并优化水的利用率，避免因液位监测不准确导致的系统故障。

此外，ifm传感器产品在晶圆加工、CMP工艺以及内物流都有广泛应用。

如果您希望了解更多ifm产品在半导体行业的应用，请点击👉官网链接查看 

也欢迎联系ifm的技术团队：400-880-6651

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