稳信工业平板电脑在蓝宝石单晶炉成功应用
2015/7/7 13:42:49
蓝宝石单晶炉,是基于改良泡生法单晶炉,具有下列优点:
自动化程度高,操作简便,对人员依赖性小
生长过程,除了引晶以外,其他工序是全自动控制
采用友好的人机界面,生长过程中的温度、水流、晶重 等各项参数一目了然,便于用户操作
采用温度和重力双闭环控制,自动控制长晶速率,和炉内温度,对各类故障进行报警,处理
采用美国先进的生长工艺,有效的减少了晶体生长过程中的气泡,云纹等缺陷
多项国家专利,设计先进,安全可靠
先进的设计,掏棒率高,后期营运成本低廉
热场采用最先进的俄罗斯技术;温场稳定、可靠,使用寿命长,后期耗品成本低廉
优化的坩埚尺寸,晶体在掏棒过程中利用率高,便于生产大尺寸晶棒
采用IGBT高频电源,电源精度高,效率高,功率因数高达0.92,节能环保
热场中引入经特别处理的保温材料氧化锆,不影响晶体性能的前提下,相应降低能耗,增加了安全性能。
EFG法蓝宝石单晶炉:
先进的加热方式,热场稳定可靠。
多片导模(最多达23片/次),带连续加料,保证了晶片的一致性。
采用友好的人机界面,生长过程中的温度、水流、晶重等各项参数显示直观,便于用户操作。
生长过程中采用高精度闭环控制,减少了操作人员的劳动强度。
多项国家专利,设计先进,安全可靠。
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