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日本日机(NIKKI) 三自由度纳米平台

日本日机(NIKKI) 三自由度纳米平台

产品简介:

日机伺服是日本第一家生产感应伺服的厂商,在伺服生产和使用方面具有丰富的专业经验。其中日机公司生产的三自由度纳米平台在国际市场得到广泛的好评。

产品分类:

运动控制 运动机械部件

品牌:

产品介绍

参数:

平台规格

单位

平台外形尺寸

Wmm X Lmm X Hmm

788mm X 843mm X 210mm

Z轴规格

分解能:4,300,800pp

额定扭矩:9Nm

平台重量

kg

161

单位

X

Y

有效行程

mm

300

300

光栅尺分节能

μm

0.1

0.1

使用直线电机类型

——

无铁芯高推力型

无铁芯扁平型

额定推力

N

200

90

精度

单位

X

Y

直线度A(垂直)

μm

3.2

1.4

直线度A(水平)

μm

1

1.3

重复定位精度

μm

+/-0.1

+/-0.1

直角度(对XY轴的Y轴的角度)

μm

1.8

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