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博瑞 FAO-165LM 直驱平台

博瑞 FAO-165LM 直驱平台

产品简介:

■ 标准模块化设计,灵活的多轴组合应用 ■ 连续推力57.4N-681.6N ■ 轻量化、高刚性的结构设计,长期的精度稳定性和长寿命 ■ 低成本、高性能的代表之作

产品分类:

运动控制 机械传动 滑轨 运动机械部件

品牌:

博瑞

产品介绍


FAO-165LM 直驱平台

特点:

■Travel 100mm,150mm,200mm,300mm,400mm,500mm,600mm

■定位精度高达(直线误差修正后):±3µm

■拥有极佳线性表现的光栅反馈系统,分辨率最高可达50nm

■标准的模块化设计,灵活的单轴/多轴解决方案

■整体密封结构,轻量化、高刚性结构设计,超高性价比

Design Details:

基础材料

进口7075铝合金,有限元分析优化,一体化加工成型

直线轴承

精密研磨加工,4方向等负荷,精密级进口直线导轨

驱动系统

高性能无铁芯直线电机

电机换向

通过编码器反馈进行换向(由控制器)

反馈

开放式高精度直线玻璃光栅尺,20µm栅距,分辨率从1µm~50nm

Home Switch

光学零位,位于光栅尺基础轨道,平台一侧或者指定任意位置

Limit Switches

光学

Cable

标准1000mm,2000mm,3000mm,亦可根据需求进行定制

控制方案

推荐PMAC Clipper+Parker P系列驱动器(高精度、高动态响应)

推荐Parker PAC+Parker Aries系列驱动器(高分布式高速运动总线)

Specifications:

ModelFAO 165LM-0100FAO 165LM-0150FAO 165LM-0200FAO 165LM-0300
行程Travel100(mm)150(mm)200(mm)300(mm)
定位精度Accuracy (1)Standard±7µm±7.5µm±8.5µm±10µm
Facter±2.5µm±2.5µm±2.5µm±3µm
分辨率Resolution (5)0.5µm
双向重复定位精度Bi-Directional Repeatability (1)±0.75µm
直线度Straightness (1)±5µm±5.5µm±6.5µm±8µm
平面度Flatness (1)±5µm±5.5µm±6.5µm±8µm
俯仰角误差Pitch(2)10 arc sec11 arc sec13 arc sec16 arc sec
横滚角误差Roll10 arc sec11 arc sec13 arc sec16 arc sec
偏航角误差Yaw(2)12 arc sec12 arc sec16 arc sec20 arc sec
最大速度Maximum Speed(4)2m/s
最大加速度Maximum Acceleration3g
最大连续推力Maximum Force (Continuous)(3)63.1N
负载能力Load Capacity (3)Horizontal45kg
Side45kg
运动台质量Moving Mass2.5kg
平台质量Stage Mass10kg11kg12kg14kg
材料MaterialAluminum,7075
ModelFAO 165LM-0400FAO 165LM-0500FAO 165LM-0600
行程Travel400(mm)500(mm)600(mm)
定位精度Accuracy (1)Standard±11.5µm±13µm±15µm
Facter±3µm±4µm±4µm
分辨率Resolution (5)0.5µm
双向重复定位精度Bi-Directional Repeatability (1)±0.75µm
直线度Straightness (1)±10.5µm±12µm±13.5µm
平面度Flatness (1)±10.5µm±12µm±13.5µm
俯仰角误差Pitch(2)21 arc sec24 arc sec27 arc sec
横滚角误差Roll21 arc sec24 arc sec27 arc sec
偏航角误差Yaw(2)25 arc sec29 arc sec33 arc sec
最大速度Maximum Speed(4)2m/s
最大加速度Maximum Acceleration3g
最大连续推力Maximum Force (Continuous)(3)63.1N
负载能力Load Capacity (3)Horizontal45kg
Side45kg
运动台质量Moving Mass2.5kg
平台质量Stage Mass16kg18kg20kg
材料MaterialAluminum,7075
注1:在环境温度20℃,平台水平放置使用的情况下,使用激光干涉仪测量的精度误差;
注2:在环境温度20℃,平台水平放置使用的情况下,使用高精度光电自准直仪测量的精度误差;
注3:最大连续推力是建立在线圈绕组温度保持在120℃且平台水平放置使用的基础上;
注4:最大工作速度取决于客户端的控制器、驱动器与光栅分辨率的匹配;
注5:分辨率指光栅反馈系统的最高分辨率(标准配置),亦指平台最小微位移量;
注6:平台采取壁挂、倒置姿势使用时,特性会发生相应变化,请提前向工程师咨询;
注7:多轴组合使用因涉及精密轴系装配工艺,请提前向工程师咨询;
注8:多轴、非标准应用或定制服务,请向工程师咨询;


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