博瑞 FAO-280LM 直驱平台
■ 标准模块化设计,灵活的多轴组合应用 ■ 连续推力57.4N-681.6N ■ 轻量化、高刚性的结构设计,长期的精度稳定性和长寿命 ■ 低成本、高性能的代表之作
产品分类:运动控制 机械传动 其它 运动机械部件
品牌:博瑞
产品介绍
FAO-280LM 直驱平台
特点:
■Travel :200mm,300mm,400mm,500mm,600mm
■定位精度高达(直线误差修正后):±3µm
■拥有极佳线性表现的光栅反馈系统,分辨率最高可达50nm
■标准的模块化设计,灵活的单轴/多轴解决方案
■整体密封结构,轻量化、高刚性结构设计,低成本,高性能
Design Details:
基础材料 | 进口7075铝合金,有限元分析优化,一体化加工成型 |
直线轴承 | 精密研磨加工,4方向等负荷,精密级进口直线导轨 |
驱动系统 | 高性能无铁芯直线电机 |
电机换向 | 通过编码器反馈进行换向(由控制器) |
反馈 | 开放式高精度直线玻璃光栅尺,20µm栅距,分辨率从1µm~50nm |
Home Switch | 光学零位,位于光栅尺基础轨道,平台一侧或者指定任意位置 |
Limit Switches | 光学 |
Cable | 标准1000mm,2000mm,3000mm,亦可根据需求进行定制 |
控制方案 | 推荐PMAC Clipper+Parker Aries列驱动器(高精度、高动态响应) 推荐Parker PAC+Parker Aries系列驱动器(高分布式高速运动总线) |
Specifications:
Model | FAO 280LM-0200 | FAO 280LM-0300 | FAO 280LM-0400 | FAO 280LM-0500 | FAO 280LM-0600 | ||
行程 | Travel | 200(mm) | 300(mm) | 400(mm) | 500(mm) | 600(mm) | |
定位精度 | Accuracy (1) | Standard | ±8.5µm | ±10µm | ±11.5µm | ±13µm | ±15µm |
Facter | ±2.5µm | ±3µm | ±3µm | ±4µm | ±4µm | ||
分辨率 | Resolution (5) | 0.5µm | |||||
双向重复定位精度 | Bi-Directional Repeatability (1) | ±0.75µm | |||||
直线度 | Straightness (1) | ±6µm | ±7µm | ±9µm | ±10µm | ±11µm | |
平面度 | Flatness (1) | ±6µm | ±7µm | ±9µm | ±10µm | ±11µm | |
俯仰角误差 | Pitch(2) | 12 arc sec | 14 arc sec | 18 arc sec | 20.5 arc sec | 22 arc sec | |
横滚角误差 | Roll | 12 arc sec | 14 arc sec | 18 arc sec | 20.5 arc sec | 22 arc sec | |
偏航角误差 | Yaw(2) | 15 arc sec | 17 arc sec | 21 arc sec | 24.5 arc sec | 26.5 arc sec | |
最大速度 | Maximum Speed(4) | 2m/s | |||||
最大加速度 | Maximum Acceleration | 3g | |||||
最大连续推力 | Maximum Force (Continuous)(3) | 340N | |||||
负载能力 | Load Capacity (3) | Horizontal | 150kg | ||||
Side | 150kg | ||||||
运动台质量 | Moving Mass | 12kg | |||||
平台质量 | Stage Mass | 55kg | 55kg | 60kg | 65kg | 72kg | |
材料 | Material | Aluminum,7075 |
注1:在环境温度20℃,平台水平放置使用的情况下,使用激光干涉仪测量的精度误差; | |||||
注2:在环境温度20℃,平台水平放置使用的情况下,使用高精度光电自准直仪测量的精度误差; | |||||
注3:最大连续推力是建立在线圈绕组温度保持在120℃且平台水平放置使用的基础上; | |||||
注4:最大工作速度取决于客户端的控制器、驱动器与光栅分辨率的匹配; | |||||
注5:分辨率指光栅反馈系统的最高分辨率(标准配置),亦指平台最小微位移量; | |||||
注6:平台采取壁挂、倒置姿势使用时,特性会发生相应变化,请提前向工程师咨询; | |||||
注7:多轴组合使用因涉及精密轴系装配工艺,请提前向工程师咨询; | |||||
注8:多轴、非标准应用或定制服务,请向工程师咨询; |
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博瑞 S560-280LM-E225-600-600-150_Table
博瑞 S280-280LM-E165-500-500-150_Table
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