博瑞 S280-280LM-E165-500-500-150_Table_博瑞_直驱平台

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博瑞 S280-280LM-E165-500-500-150_Table

成都博瑞自动化仪器有限公司

2015/12/25 13:11:59

产品简介：

￭最大可到600mm×600mm×400mm Travel直驱平台￭连续推力57.4N-681.6N￭极佳的平滑运动，极小的动态跟随误差￭极佳的point-to-point位置精度以及亚微米级的重复性

产品分类：

运动控制运动机械部件

品牌：

博瑞

产品介绍

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SWI280-280LM-ELG165-500-500-150_XYZ Table

设计特点：

￭模块化结构设计，灵活的搭建方式。XY Table最大可到600mm×600mm Travel

￭连续推力57.4N-681.6N，峰值推力从255.8N-3047.2N

￭稳定且优良的轴系提供了极佳的平滑运动，经算法优化可以获得极小的动态跟随误差

￭高分辨率且线性表现优良的光栅反馈系统，可以获得极佳的point-to-point位置精度以及亚微米级的重复性

Specifications：

Model			SWI280-280LM-ELG165-500-500-150_XYZ Table
行程	Travel		500mm×500mm×150mm
精度	Accuracy	X轴	±10μm，±2.5μm(补偿后)
		Y轴	±10μm，±2.5μm(补偿后)
		Z轴	±6μm
分辨率	Resolution		50nm,0.1µm(Z axis)
双向重复定位精度	Bi-Directional Repeatablity	X轴	±0.25μm
		Y轴	±0.25μm
		Z轴	±1μm
直线度	Straightness	X轴	±7.5μm
		Y轴	±7.5μm
		Z轴	±3μm
平面度	Flatness	X轴	±7.5μm
		Y轴	± 7.5μm
		Z轴	±3μm
俯仰角误差	Pitch	X轴	15.5arc sec
		Y轴	15.5arc sec
		Z轴	7arc sec
横滚角误差	Roll	X轴	15.5arc sec
		Y轴	15.5arc sec
		Z轴	7arc sec
偏航角误差	Yaw	X轴	19.5arc sec
		Y轴	19.5arc sec
		Z轴	8arc sec
最大速度	Maximum Speed(Z axis)		120mm/s
最大加速度	Maximum Acceleration(Z axis)		1g
最大连续力	Maximum Force(Continuous，Z axis)		1.8KN
负载能力	Load Capacity	Axial	18Kg
平台质量	Stage Mass		150Kg
材料	Material		Aluminum，7075
平均无故障时间	MTBF(Mean Time Before Failure)		20000 Hours

正交误差	Orthogonality	NPA_Z	XZ or YZ assembly; Non-precision XYZ assembly
		PA10_Z	XZ or YZ assembly; 10 arc second orthogonal
		PA5_Z	XZ or YZ assembly; 5 arc second orthogonal
		Facter	High-accuracy system – linear error correction for accuracy and repeatability

BAI Linear Motion Systems研发的二维直驱平台由两台直线电机驱动的标准单轴精密直驱平台构成，可同时对两台直线电机进行同步或者单独控制。由于采用标准平台进行叠加组合应用，因此可根据实际需要分别对行程、负载、定位精度、双向重复定位精度进行选择，可选范围宽、组合灵活、成本低等特点，是一款模块化的直驱产品实用化的平台。

直线电机直接驱动的X-Y平台系统，以其快速的响应、准确的定位和高可靠性而广泛应用于高速自动化设备、精密测量系统、电子与半导体加工设备，激光加工设备等领域。　

工业应用领域：PCB加工、电子元件插装、快速贴片、点胶机、机械装备高速IT设备、机床设备、电子装配及元器件插装、激光切割、胶黏剂投放、检查设备；

科研领域：精密运动控制、各类现代控制方法的理论与实验研究、高速高加速长行程直线电机平台的应用等；

教学实验课程：数控机床、机电一体化、自动控制理论、单片机及单板机、工业自动化、各类现代控制理论课程等，可用于机制及其自动化、工业自动化、自动控制等专业的教学实验。