泓格电流测量解决方案在UV曝光机设备监测的应用

使用泓格DNM-831I-100V-50A电压/电流衰减器、M-7017RMS-G 8通道True RMS输入模块以及PMC-5231电表集中器，测量UV曝光机的电力数据，提供现场人员作为机台预知保养的参考指标。

案例介绍

近年来曝光制程快速发展，UV曝光机设备使用者除了产能、产速压力不断攀升外，设备老化后的维修费用与维修实时性已成为影响公司竞争力的关键因素。此案例说明泓格电流量测解决方案如何协助客户克服机台电流不一致的问题，完成机台用电数据的收集与分析，进而达到预知保养的目的。

泓格电力测量解决方案

此案例中，管理人员可依据UV曝光机的电力类别，选择以直流电或交流电测量电压及电流。泓格DNM-831I-100V-50A作为电压/电流衰减器，降低电压及电流后传输至M-7017RMS-G 8通道True RMS输入模块，以Modbus RTU通讯协议传输至PMC-5231电表集中器，再通过Modbus TCP通讯协议，将机台的电压与电流数据传送回中控中心。管理人员通过电力数据数据的分析，设定出上下限数值，作为机台预知保养的参考指标。其架构图如下:

交流电量测架构图

直流电量测架构图

结语

客户通过泓格客制化的电流测量解决方案，达到设备预知保养与检修的目的，不仅能协助现场人员实时掌握需维护的设备，减轻人员的负担及人力成本，更能提升整体设备效率。

泓格在复杂的工业环境中，简化机台通讯问题，协助客户建置机台联网、稼动率及OEE的提升、设备预防保养及预兆诊断、进而迈向智能工厂及数字转型。随着节能减碳的观念逐渐被重视，泓格也将继续协助客户，往ESG永续经营的目标迈进。