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泓格半导体厂晶舟存放机台自动化应用案例

泓格半导体厂晶舟存放机台自动化应用案例

2025/1/6 16:15:58

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客户使用泓格的 CAN-205XD 系列 DeviceNet 远程 I/O 从站模块与 AXP-9051-IoT 可程序自动化控制器 (PAC),协助 O 牌 PLC 驱动晶舟存放机台中的各个机关,打造全自动化的晶舟存放流程。

案例介绍

此案例客户主要提供无尘室先进制程的自动化方案,包括自动化的晶舟存放。晶舟存放机台采用先进机器人技术,并整合多种运动和控制软件技术,达到全自动化的晶舟存放、检索与追踪操作。在原架构中,客户使用 O 牌 PLC 搭配他牌的 I/O 模块时会出现错误码,因此希望能通过泓格的解决方案有效解决此问题。

泓格晶舟存放机台自动化方案

此案例中,客户以泓格 AXP-9051-IoT 可程序自动化控制器 (PAC) 编辑驱动程序后,通过 Modbus TCP 通讯协议将数据传至 O 牌 PLC 与散布在 PLC 中的客制化的泓格 CAN-205XD 系列 I/O 模块,接着再以 Modbus TCP 通讯协议传送命令控制晶舟存放机台,并消除错误码的显示。

其中,晶舟存放机台分为八型与九型,两种类型分别使用 8 组与 20 组的 CAN-205XD 系列 DeviceNet 远程 I/O 从站模块,其架构图如下:

 

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▲ 八型晶圆储存机台,共8组 I/O模块

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▲ 九型晶圆储存机台,共20组 I/O模块

泓格产品为此案例带来的效益

 ● CAN-205XD 系列 I/O 模块为手掌大小的 DeviceNet 从站 I/O 模块,可轻松安装及节省空间,适合放置于小型机台控制系统中。

 ● CAN-205XD 系列 I/O 模块具有轮询 (Polling) 与位触发 (Bit-Strobe) 的 DeviceNet I/O 连线模式,用户可依案场需求选择。

 ● AXP-9000-IoT 系列 PAC 内置 CPU 散热器,可大幅延长设备的使用寿命。

 ● AXP-9000-IoT 系列 PAC 内置 VGA 和 HDMI 端口,可直接连接至常规的显示器上,用户使用显示器、键盘和鼠标即可操作 HMI 或 SCADA,非常便利。

 ● AXP-9000-IoT 系列 PAC 内置 Windows 10 IoT Enterprise 操作系统,同时支持通用 Windows 和传统 Windows 的应用程序,故在软件开发时与 Windows 10 有极佳的兼容性。

结语

泓格提供的晶舟存放机台自动化解决方案协助客户无缝整合不同厂牌的设备,同时确保机台运作的稳定性。

泓格提供多样的 I/O 模块、网关与解决方案,为了符合应用端的要求,提供了对应的通讯接口及协议,能安全且可靠的传输数据,亦可达到工业物联网的高度整合。

此外,泓格具有强大的 OEM 与 ODM 能力,能依据客户的需求百分百客制化地打造多样的远程 I/O 模块与解决方案,与客户一同打造自动化的智慧工厂。

审核编辑(
王静
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