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KEYENCE基恩士推出SI-F系列微型传感头型分光干涉式激光位移计

供稿:基恩士(中国)有限公司 2011/10/14 15:31:12
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SI-F 系列 微型传感头型分光干涉式激光位移计
微型传感头型分光干涉式激光位移计 -->
产品索引

 

 

•  [超高精度] 分辨率:0.25 μm
•  [超小尺寸] 微型传感头尺寸:ø2 mm
•  [超前技术] 测量原理:分光干涉法
•  同时控制 6 个传感头
•  多重计算
•  控制器配有 6 个不同的输入输出接口
•  易于使用的数据收集专用 PC 软件
隆重推出业界超细微型传感头,其拥有同类产品中最高的测量精度,并实现了过去认为不可能实现的性能。
 

 

产品特性
 

 

选择各种传感头

 

选择各种传感头,扩大测量应用范围

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微型传感头型

最适合要求在狭小高温的环境下进行的超高精度测量。
 
SI-F01
SI-F01
 
 
 
主要技术数据
主要技术数据
 

 

长距离型

长距离高精度测量。
 
SI-F10
SI-F10
 
 
 
主要技术数据
主要技术数据
 

 

厚度(间隙)测量型

专用于厚度测量,因而可实现高精度。
 
SI-F80
SI-F80
 
 
 
主要技术数据
主要技术数据
 

 

不发热、无噪音

光纤头结构的优点
测量头仅由光纤和镜头组成,无电子部件。
不发热、无噪音
 

 

光谱干涉系统的原理

 

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分光单元
 

 

[概要]

从光源(SLD)发出的宽波长光带,经传感头内部的参考反射面与对象物表面这两面的反射后,返回到光纤内部。这两个反射光是相互干涉的。各波长的干涉光强度由参考反射面与对象物的距离而决定。(如果知道各波长的干涉光强度,那么即能够求算出对象物的距离。)通过分光器对干涉光的每个波长实施分光后,使其在CCD形成图像,就能够得出波长的强度分布。分析这个强度分布,就能够算出至对象物为止的距离。

[详细(概要内容的详细说明)]

“从光源(SLD)发出的宽波长光带”...
光具有波的性质,通常将一个波形的长度称之为“波长”。也就是说,光以一波而前进的距离。在SI所使用的SLD(Super Luminescent Diode)拥有810nm至830nm的波长光带。

 

"两个反射光是相互干涉的"...
干涉,是指波的干涉。复数的波相重合,就形成了新的波形。
干涉具有两个法则: (1) 只有相同的波长才会产生干涉、(2) 如果为同相,则振幅会转为极大。

(1) : 例如,810nm和820nm的光不会产生干涉。只有在双方都为810nm或双方都为820nm的光才会产生干涉。
(2) : 如下图所示,当在相同地点,波峰与波峰、波谷与波谷相重合时(称之为同相),干涉波的振幅转为极大;当波峰与波谷相重合时(称之为逆相),振幅转为极小。干涉波振幅的大小由两个波的重合时机而决定。

 

 
 

 

SI干涉波的大小由参照反射面与对象物表面所返回来的两个波相重合的时机而决定。
传感头
 

 

智能控制器

 

智能控制器带来便利性和易用性

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同时控制 6 个传感头

在主控制器上附加扩展单元就可以同时使用 6 个传感头进行测量。
 
同时控制 6 个传感头
 
所有传感头同时测量
所有传感头同时测量
多个传感头被同步,实现同时测量。这可用于同时测量移动物体上的多个点以及对传感头间的物体进行高精度测量。

多重计算

可立即计算多个传感头的测量值。只需简单的设定即可让控制器执行复杂的计算。

[测量与参考点的相对段差高度]
获得各个测量点和参考点之间的高度差。
测量与参考点的相对段差高度
测量值 1 = A - B,
测量值 2 = A - C,
测量值 3 = A - D, ...
[测量相对差值]
测量特定传感头和工件的相对距离差异。
测量相对差值
测量值 1 = A - B,
测量值 2 = B - C,
测量值 3 = A - C, ...
[测量平整度]
获得所有测量值的最大值和最小值的差值。
测量平整度
测量值 1 =
最大值 (A, B, C, ...) - 最小值 (A, B, C, ...) ...

 



[测量翘曲度]
获得指定测量点的翘曲度。
测量翘曲度
测量值 1 = B - (A + C)/2 ...
[测量多个点的厚度]
使用成对传感头测量多个点的厚度。
测量多个点的厚度
测量值 1 = X - (A + B),
测量值 2 = Y - (C + D),
测量值 3 = Z - (E + F), ...
[测量平均高度]
获得表面上指定测量点的平均高度。
测量平均高度
测量值 1 = 平均 (A, B, C, ...), ...
 

 

多样化的接口

 

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多样化的接口

控制器配有 6 个不同的输入输出接口,几乎可与任何外围设备通信。
多样化的接口
 

独立显示/设定面板

控制器设计以易用性为重,因此具备独立显示屏。显示/设定面板是否分离取决于控制器的安装方式。显示屏可脱离控制单元独立安装,控制器可安装在控制面板的 DIN 导轨上。在桌面上使用时,可将控制器单元和显示屏合并为一个单元。
在桌面上使用时
在桌面上使用时
显示屏/控制器一体化可节省安装空间。
连接控制单元时
连接控制单元时
显示屏可安装在前面板上,控制器可安装在控制面板的 DIN 导轨上。

显示光量

以 256 级显示传感头接收的光量。检查接收光量有助于确认单个工件的测量稳定性并减少安装时调整角度所需的工时。
当传感器与工件成直角安装时:
当传感器与工件成直角安装时
大量反射光返回传感器。
当传感器与工件成斜角安装时:
当传感器与工件成斜角安装时
返回传感器的反射光不足。

 

软件

 

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"SI-Navigator 3", 易于使用的数据收集专用 PC 软件

 
"SI-Navigator 3", 易于使用的数据收集专用 PC 软件
还必须满足您的操作系统所需的系统要求。
1. 支持 Home Premium、Professional 和 Ultimate。
2. 支持 Ultimate、Business、Home Premium 和 Home Basic。
3. 支持 Professional SP2 以上版本及 Home Edition SP2 以上版本。
4. 支持 SP4 以上版本。
5. 不支持通过 USB 集线器连接。
6. 不支持通过内部局域网或路由器连接。必须使用直线或本地连接。

简单设定

只需将光标停留在所需的设定菜单上并选择选项。凭借大量可供选择的下拉列表和图标,任何人都可以轻松设定。
简单设定
 

数据存储

控制器最多可保存 120 万个测量点数据,随后可通过 USB 接口将数据传送到连接控制器的 PC。可任意更改采样率、测量点数量和通过外部信号收集数据的设定。
使用 SI-NAVIGATOR 分析
使用 SI-NAVIGATOR 分析
SI-Navigator 可显示波形。用户可通过该软件放大/缩小及重叠波形。此外只需放置光标即可轻松读取值。
 
 
使用 EXCEL 分析
使用 EXCEL 分析
使用 Navigator 收集的数据可保存为 CSV 格式,可在 Excel 中读取。

显示接收光的波形

可通过波形显示接收光量。该方式可大致表示测量的稳定性。在低反射率的工件上进行测量时以及在检查接收光量是否因为测量头或工件倾斜而变小时,该功能非常有效。
显示接收光的波形
 

显示测量值

可在 PC 上检查控制器上显示的值。最多可同时显示 12 组OUT 值。当连接多个通道或存在大量计算设定时,该功能非常有效。
显示测量值
 

 相关产品请下载:

http://www.gongkong.com/company/datum/2013091615505600001.htm

 

更多内容请访问 基恩士(中国)有限公司(http://c.gongkong.com/?cid=44538)

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