KEYENCE基恩士推出VK-X100/X200系列形状测量激光显微系统。
|
|
|
激光扫描显微系统可以解决所有的课题 |
|
 |
|
|
使用激光显微系统则可全部简单地实现 |
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
 |
|
|
|
|
|
|
 |
|
|
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
 |
|
|
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
 |
|
|
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
 |
|
|
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
 |
|
|
|
||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||
|
|
 |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
全方位性质的清晰观察 |
|
从光学观察到类似于彩色 SEM 的高分辨率观察 |
|
| 关于本产品的详细内容，请使用右上方的图标下载目录后确认。 | |
|
|
|
16 bit 激光彩色观察 |
||||||||||||||||||||||||||||||
| 在大气中以全方位性质的分辨率实现全焦观察。 |
||||||||||||||||||||||||||||||
|
||||||||||||||||||||||||||||||
|
| 16 bit 激光彩色观察 |
|
 |
|
在大气中以全方位性质的分辨率实现全焦观察。 |
| 通过短波长激光全面扫描，能够以光学显微镜无法实现的分辨率，按 200 至 24000 倍率* 实现全焦观察。 * VK-X200 系列时 |
|
|
|
|
|
||||||||
|
|||||||||||
以类似于 SEM 的分辨率实现真彩观察。 |
| 对于由激光获取到的各像素均已正确对焦的高度的色彩信息，由 CCD 相机按每 １ 像素分别提取，再转换成激光高分辨率图像。 |
|
|
|
|
|
||||||||
|
|||||||||||
可运行所有表面形状测量 |
|
对于拍摄到的图像可自由测量 |
|
| 关于本产品的详细内容，请使用右上方的图标下载目录后确认。 | |
|
|
|
“想测量高低差· 形状实现数值化” |
|
| [剖面 ３D 测量] 高度· 宽度· 角度截面积测量 |
| 对测量屏幕上任意指定的直线或曲线的横截面轮廓，都可进行“高度”、“宽度”、“横截面”、“角度”、“R 值”等测量。 |
|
|
|
|
|
||||||||
|
|||||||||||
|
|
|
| 表面积· 体积测量 |
| 测量屏幕上任何指定区域的“体积”、“表面积”、“ 面积∶表面积之比”。 |
|
|
|
|
|
||||||||
|
|||||||||||
“想要将表面状态的差异实现数值化” |
|
| [可以精确测量线粗糙度和面粗糙度] 线粗糙度测量 |
| 可以一边观察2D 或3D 图像，一边避开顶点或异物，测量目标部位的粗糙度。 |
|
|
 |
|
|
|
|
| 面粗糙度测量 |
| 从视觉上来讲存在差异，那么差异究竟有多大呢? 可以测量面的粗糙度，通过数值确认平均化后的差异。 （例）功能性薄膜的暗纹（3000 倍） |
|
|
|
|
|
||||||||
|
|||||||||||
透明薄膜测量内置“独特的算法” |
|
| 不仅实现膜厚测量﹐还可获取最表面和背面的形状。 |
| 可对观察视野整个区域执行多层分析。可对已选的各层或多层进行 3D 图像显示、横截面轮廓显示，可测量任意位置的形状、薄膜厚度。 |
|
|
 |
|
“想要一次性自动拍摄· 测量多个样本” |
|
| [自动测量具备规则图形的工件] 自动宽度· 高度测量 |
| 对于具备规则图形的工件的宽度· 高度，按照设置条件自动测量。由于是自动测量，因此不会生成人员造成的误差，可以在短时间内完成测量。 |
|
|
|
|
全自动测量 |
|
谁都可以实现和熟练人员一样的测量 |
|
| 关于本产品的详细内容，请使用右上方的图标下载目录后确认。 | |
|
|
|
|
|
|
|
| 通过融入长年专有经验的 AI-Scan，仅需按下“ 测量开始”按钮，便能得到符合样本的最佳设置，实现全自动测量。 |
|
 |
|
|
[世界首创] AI-Scan 3 个功能 |
|
| 单击测量开始按钮便可实现 |
|
| 1. AAG 功能 |
| 对受光组件的激光受光灵敏度运行 ２ 项最佳调整。对于有斜度的样本或混合存在明暗的样本也可正确测量。 * AAG=Advanced Auto Gain |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
||||||||||||||||
| 2. 自动上下限设置 |
| 对于样本的上下限在整个画面区域实现自动识别和设置，在上下限范围之内运行扫描和测量。 |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
||||||||||||||||
| 3. 双扫描功能 |
| 识别到未有效拍摄的部分时，会自动改变设置，运行二次拍摄，获取正确的数据。 |
|
|
|
|
|
|
广视野的测量 |
|
通过 WIDE-Scan 简单 · 高速地实现广视野的测量 |
|
| 关于本产品的详细内容，请使用右上方的图标下载目录后确认。 | |
|
|
|
课题 1 |
|
|
| 视野狭窄的话，无法明确正在观察哪个部位。还想观察周围。 |
|
 |
|
|
 |
|
|
||
|
||||
课题 2 |
|
|
|
|
|
| 关于局部性的测量，会因拍摄部位不同而使数据生成偏差。 | |
|
|
 |
|
|
|
目录下载：
|
|
