欧姆龙晶圆槽式清洗机高速高精度应用:符合SECS/GEM通讯,高速生产节拍×超低碎片率
应用介绍
碳化硅晶圆槽式清洗甩干一体机,主要结构包括:上料工位、酸洗槽、清水槽、碱洗槽、缺陷检测工位、甩干机和下料工位。
课题
1、碎片率高
由于碳化硅晶圆较硅晶圆厚度薄、硬度强,因此在搬运及清洗过程中更加容易碎片。
2、需满足行业标准(SECS/GEM通讯)
解决方案
1、轨迹曲线控制技术
客户期望在保证高速节拍的前提下,降低碎片率。通过欧姆龙独特的轨迹曲线控制技术,能够自动计算补偿量,以抑制速度变化时发生的偏差,精度高达±0.01mm。
确保了整个搬运及清洗过程中的运动精度,即可在无偏差的情况下完成一系列工艺操作,有效降低碎片率。
2、满足行业标准(SECS/GEM通讯)
结合机器控制和上位通信,可在短时间内以低成本轻松实现SECS/GEM通信。
■ 与上位主机直接通信
无需中转计算机/专用通信单元/软件
■ 有助于设备小型化
CPU单元可直连上位主机
■ 无需年度合约
降低运行成本
使用SECS/GEM配置,无需编程即可实现通信设定。
■ 无需地址设定
变量编程无需地址设定
■ 计算机与机器控制器之间无需编程
使用一台CPU,无需在中转计算机和机器控制器之间通信
■ 通过SECS/GEM配置缩短设计时间
系统配置
实现价值
1、生产节拍<175秒
2、碎片率<0.05%,完整率≥99.95%
3、满足行业标准(SECS/GEM通讯)
3个“i”掀起制造革新
如果您对本案例感兴趣,欢迎扫码提交您的需求信息,欧姆龙工程师将与您取得联系。
更多详情请点击了解
提交
产品升级丨欧姆龙微型功率继电器MY-GS-R:LED指示灯亮度、触点载流量显著提升
欧姆龙与博一机械达成战略合作,共启食品包装新篇章
欧姆龙医疗净水设备方案:采用CP2E进行控制及监视,完成水质净化和运输
欧姆龙工厂火灾风险降低方案:防患于未然,无需停机,及早发现起火原因
欧姆龙出席2024中国新能源电驱动系统技术发展大会并发表主题演讲