中电华星CES系列7000W高可靠工业电源：以“芯”驱动光刻机精密马达，赋能半导体制造“极细线”时代

引言：光刻机的“心脏”之战

在半导体制造的“摩尔定律”赛道上，光刻机是突破8nm工艺节点的核心装备。而私服马达驱动电源作为光刻机晶圆传输、对准系统的“动力心脏”，需在微秒级精度控制、毫伏级电压稳定性、连续72小时无故障运行的极端条件下，保障价值数十亿美元的设备稳定运转。 

华星CES系列7000W高可靠工业电源以三相380VAC输入、48VDC输出、2U超紧凑设计为核心优势，成功应用于上海某头部光刻机企业，助力其实现生产效率提升20%、年度故障停机减少75%的突破，为国产光刻机产业链注入高可靠电力动能。 

破解光刻设备供电三大“生死局”

电压“蝴蝶效应”？毫秒级稳压技术筑牢精密控制

动态负载补偿算法：在晶圆高速移动场景下，实时补偿负载突变，输出电压波动≤±0.1%（行业平均±0.5%），确保光刻机伺服马达定位精度达±5nm； 

双冗余电源架构：主备电源无缝切换时间<10ms，避免单点故障导致整台光刻机停机，年故障恢复时间缩短90%。 

空间与效能的“终极博弈”？2U高度定义紧凑化新标杆 

功率密度4kW/U：体积仅450*210*80mm（2U），较传统方案节省60%安装空间，适配光刻机机台狭小供电舱； 

6%峰值效率：采用SiC碳化硅器件与数字PFC技术，年节能达1500kW·h（以单机24小时运行测算），助力客户实现碳中和目标。 

长期可靠性“达摩克利斯之剑”？军工级验证体系护航 

100G机械振动测试：通过MIL-STD-810H标准，适配光刻机高频振动环境； 

-40℃~+100℃宽温运行：无惧东北极寒与东南亚湿热气候，MTBF（平均无故障时间）突破10万小时； 

三重EMC防护：传导骚扰（CE）与辐射骚扰（RE）指标优于CISPR35 Class A，杜绝光刻机信号干扰。 

上海光刻机企业标杆案例：从“卡脖子”到“中国芯”

客户痛点： 

原进口电源因体积大、效率低，导致光刻机供电系统臃肿，占机台空间30%，且年均故障率高；电压瞬态波动引发马达抖动，影响光刻层厚精度，良率损失大。 

中电华星解决方案： 

定制化输出特性开发：针对光刻机多阶段运动模式（粗定位、精对准、曝光），优化PWM控制算法，动态调节输出响应速度至1ms级； 

分布式散热设计：结合热管与自然对流，实现满载下机内温度≤70℃，避免高温导致的电子元件老化； 

全生命周期服务：提供“晶圆厂级”现场支持，工程师驻场优化供电拓扑，承诺48小时备件送达。 

成果数据： 

连续运行1年零计划外停机，光刻机稼动率提升至99.6%； 

层厚控制精度提升至±0.8nm（行业平均±1.2nm），良率提高5%； 

单台光刻机年节省用电成本超20万元，助力客户入选“国家级绿色工厂”。 

为何CES系列7000W成为光刻机行业“中国芯”？

国产化替代里程碑：100%核心元器件国产化，突破海外芯片封锁，供货周期缩短60%； 

智能物联赋能：支持Modbus TCP/IP协议，实时上传电源状态数据至MES系统，实现远程监控与预测性维护； 

生态化服务网络：联合国内头部半导体设备商共建联合实验室，提供“电源+驱动”一体化解决方案。 

客户证言：用光刻机良率说话

华星的7000W电源不仅是供电设备，更是光刻工艺的‘稳定器’。在节点量产中，它让我们实现了‘零电压漂移’的奇迹。” 

——上海某光刻机企业首席工程师 

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