Epson Toyocom 高性能水晶绝对压力传感器_QEMEMS_

Epson Toyocom 高性能水晶绝对压力传感器

2010/8/5 11:55:17

产品简介：

Epson Toyocom公司，作为水晶元器件产品的领导者，开发出小型，高性能的水晶压力传感器，采用独创的QMEMS(*1)技术制造出的压力传感结构，以此开发出具有±10帕(*2)（约一万分之一气压(*3)）的高精度与0.1帕的高分辨能力(*4)的高性能且体积为12.5ml、重量为15g的小型水晶绝对压力(*5)传感器。

产品分类：

物联网仪器仪表压力仪表现场仪表感知层压力变送器压力传感器

品牌：

产品介绍

Epson Toyocom公司(总经理:宮澤　要)，作为水晶元器件产品的领导者，开发出小型，高性能的水晶压力传感器，采用独创的QMEMS(*1)技术制造出的压力传感结构，以此开发出具有±10帕(*2)（约一万分之一气压(*3)）的高精度与0.1帕的高分辨能力(*4)的高性能且体积为12.5ml、重量为15g的小型水晶绝对压力(*5)传感器。

压力传感器在通常情况下存在下述技术课题：小型化时会造成性能下降；追求高性能时又不得不增大构造。

Epson Toyocom在压力检测单元中采用音叉型晶体单元，由此可以得到安定度高的振荡频率，从而实现了具有高精度及高分辨能力的水晶压力传感器。

在此之上又使用QMEMS技术新开发出独创的压力传感构造，使同时具有小型及高性能——这两种相对性能的产品的实现变为可能。

为此，可以下述领域(例如：气象或安全方面)为代表，在使用压力传感器的各种仪器的小型化及性能提高上做出巨大贡献。
■ 用于气象观测中大气压的高精度测试
■ 用于大气压变化的高低差(以约1cm为单位的高度)的测试
■ 用于测试室内门窗等开关而造成的微小的内部压力变化

而且是通过搭载于周围机器，可应用于高精度气压测试等新领域的可行性的产品。

现在，Epson Toyocom正将本产品所采用的独创的压力传感构造不断推广到其它能够适用于各种用途的水晶压力传感器的开发上，今后亦将不断推进使用基于QMEMS技术的超精微加工技术、晶体振荡器中酝酿出的高安定振荡电路技术以及高精度检测技术的进化，创造出更高程度的高性能化和小型化。

【主要规格】

项目	规格
压力检测范围	50 ～ 150 kPa （绝对压力）
综合压力精度	±10 Pa
分辨能力	0.1 Pa
工作温度范围	-20 ～ +70 ℃
输出接口	RS-232C
外部尺寸规格	25 × 25 × H20 mm（固定部分除外）

【用语说明】
(*1) QMEMS
是由具有高稳定、高精度等优越特征的石英材料「QUARTZ」和「MEMS」（精微加工技术）组成的合成词。与以半导体为材料的MEMS相对应,以石英为原料进行精微加工,提供小型化、高性能的晶体元器件被称为「QMEMS」。
QMEMS是Epson Toyocom的注册商标。

(*2) Pa（帕）
表示压力的国际单位。高低差出现10cm的变化时，气压随之出现约1Pa的变化。

(*3) １气压
相当于在1cm2的海面上施加约1kg的力。

(*4) 分辨能力
传感器或装置等能够测量或识别的能力。

(*5) 绝对压力
以绝对真空为基准的压力值。