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博瑞 FAO-560LM 直驱平台

博瑞 FAO-560LM 直驱平台

产品简介:

■ 标准模块化设计,灵活的多轴组合应用 ■ 连续推力57.4N-681.6N ■ 轻量化、高刚性的结构设计,长期的精度稳定性和长寿命 ■ 低成本、高性能的代表之作

产品分类:

运动控制 机械传动 其它 运动机械部件

品牌:

博瑞

产品介绍


FAO-560LM 直驱平台

特点:

■Travel :200mm,300mm,400mm,500mm,600mm

■定位精度高达(直线误差修正后):±3µm

■拥有极佳线性表现的光栅反馈系统,分辨率最高可达50nm

■标准的模块化设计,灵活的单轴/多轴解决方案

■整体密封结构,轻量化、高刚性结构设计,低成本,高性能

Design Details:

基础材料

进口7075铝合金,有限元分析优化,一体化加工成型

直线轴承

精密研磨加工,4方向等负荷,精密级进口直线导轨

驱动系统

高性能无铁芯直线电机

电机换向

通过编码器反馈进行换向(由控制器)

反馈

开放式高精度直线玻璃光栅尺,20µm栅距,分辨率从1µm~50nm

Home Switch

光学零位,位于光栅尺基础轨道,平台一侧或者指定任意位置

Limit Switches

光学

Cable

标准1000mm,2000mm,3000mm,亦可根据需求进行定制

控制方案

推荐PMAC Clipper+Parker Aries系列驱动器(高精度、高动态响应)

推荐Parker PAC+Parker Aries系列驱动器(高分布式高速运动总线)

Specifications:

ModelFAO 560LM-0200FAO 560LM-0300FAO 560LM-0400FAO 560LM-0500FAO 560LM-0600
行程Travel200(mm)300(mm)400(mm)500(mm)600(mm)
定位精度Accuracy (1)Standard±8.5µm±10µm±11.5µm±13µm±15µm
Facter±2.5µm±3µm±3µm±4µm±4µm
分辨率Resolution (5)0.5µm
双向重复定位精度Bi-Directional Repeatability (1)±0.75µm
直线度Straightness (1)±6µm±7µm±9µm±10µm±11µm
平面度Flatness (1)±6µm±7µm±9µm±10µm±11µm
俯仰角误差Pitch(2)12 arc sec14 arc sec18 arc sec20.5 arc sec22 arc sec
横滚角误差Roll12 arc sec14 arc sec18 arc sec20.5 arc sec22 arc sec
偏航角误差Yaw(2)15 arc sec17 arc sec21 arc sec24.5 arc sec26.5 arc sec
最大速度Maximum Speed(4)2m/s
最大加速度Maximum Acceleration3g
最大连续推力Maximum Force (Continuous)(3)680N
负载能力Load Capacity (3)Horizontal150kg
Side150kg
运动台质量Moving Mass20kg
平台质量Stage Mass98kg98kg110kg118kg130kg
材料MaterialAluminum,7075

注1:在环境温度20℃,平台水平放置使用的情况下,使用激光干涉仪测量的精度误差;

注2:在环境温度20℃,平台水平放置使用的情况下,使用高精度光电自准直仪测量的精度误差;
注3:最大连续推力是建立在线圈绕组温度保持在120℃且平台水平放置使用的基础上;
注4:最大工作速度取决于客户端的控制器、驱动器与光栅分辨率的匹配;
注5:分辨率指光栅反馈系统的最高分辨率(标准配置),亦指平台最小微位移量;
注6:平台采取壁挂、倒置姿势使用时,特性会发生相应变化,请提前向工程师咨询;
注7:多轴组合使用因涉及精密轴系装配工艺,请提前向工程师咨询;
注8:多轴、非标准应用或定制服务,请向工程师咨询;



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