博瑞 SWI-560LM 精密直驱平台
■ 模块化结构设计,灵活的搭建方式 ■ 连续推力57.4N-681.6N ■ 极佳的平滑运动,极小的动态跟随误差 ■ 极佳的point-to-point位置精度以及亚微米级的重复性
产品分类:运动控制 机械传动 滑轨 运动机械部件
品牌:博瑞
产品介绍
SWI-560LM 高性能直驱平台
特点:
■Travel :200mm,300mm,400mm,500mm,600mm
■定位精度高达(直线误差修正后):±1µm(Travel≤200mm)
■拥有极佳线性表现的光栅反馈系统,分辨率最高可达1.2nm
■标准的模块化设计,灵活的单轴/多轴解决方案
■整体密封结构,轻量化、高刚性结构设计,低成本,高性能
Design Details:
基础材料 | 进口7075铝合金,有限元分析优化,一体化加工成型 |
直线轴承 | 精密研磨加工,4方向等负荷,超精密级进口直线导轨 |
驱动系统 | 进口无铁芯直线电机,带霍尔传感器&温度控制 |
电机换向 | 通过霍尔传感器or编码器反馈进行换向(由控制器) |
反馈 | 开放式高精度直线玻璃光栅尺,20µm栅距,分辨率从0.1µm~1.2nm |
Home Switch | 光学零位,位于光栅尺基础轨道,平台一侧或者指定任意位置 |
Limit Switches | 光学 |
Cable | 标准1000mm,2000mm,3000mm,亦可根据需求进行定制 |
控制方案 | 推荐使用 UMAC+Parker C3驱动器 |
Specifications:
Model | SWI 560LM-0200 | SWI 560LM-0300 | SWI 560LM-0400 | SWI 560LM-0500 | SWI 560LM-0600 | ||
行程 | Travel | 200(mm) | 300(mm) | 400(mm) | 500(mm) | 600(mm) | |
定位精度 | Accuracy (1) | Standard | ±5.5µm | ±7µm | ±8.5µm | ±10µm | ±12µm |
Facter | ±1.5µm | ±2µm | ±2µm | ±2.5µm | ±2.5µm | ||
分辨率 | Resolution (5) | 50nm | |||||
双向重复定位精度 | Bi-Directional Repeatability (1) | ±0.25µm | |||||
直线度 | Straightness (1) | ±4µm | ±5µm | ±6.5µm | ±7.5µm | ±8µm | |
平面度 | Flatness (1) | ±4µm | ±5µm | ±6.5µm | ±7.5µm | ±8µm | |
俯仰角误差 | Pitch(2) | 8 arc sec | 10 arc sec | 13 arc sec | 15.5 arc sec | 18 arc sec | |
横滚角误差 | Roll | 8 arc sec | 10 arc sec | 13 arc sec | 15.5 arc sec | 18 arc sec | |
偏航角误差 | Yaw(2) | 11 arc sec | 13 arc sec | 16 arc sec | 19.5 arc sec | 22.5 arc sec | |
最大速度 | Maximum Speed(4) | 2m/s | |||||
最大加速度 | Maximum Acceleration | 3g | |||||
最大连续推力 | Maximum Force (Continuous)(3) | 681.6N | |||||
负载能力 | Load Capacity (3) | Horizontal | 150kg | ||||
Side | 150kg | ||||||
运动台质量 | Moving Mass | 20kg | |||||
平台质量 | Stage Mass | 98kg | 98kg | 110kg | 118kg | 130kg | |
材料 | Material | Aluminum,7075 |
注1:在环境温度20℃,平台水平放置使用的情况下,使用激光干涉仪测量的精度误差; | |||||
注2:在环境温度20℃,平台水平放置使用的情况下,使用高精度光电自准直仪测量的精度误差; | |||||
注3:最大连续推力是建立在线圈绕组温度保持在100℃且平台水平放置使用的基础上; | |||||
注4:最大工作速度取决于客户端的控制器、驱动器与光栅分辨率的匹配; | |||||
注5:分辨率指光栅反馈系统的最高分辨率(标准配置),亦指平台最小微位移量; | |||||
注6:平台采取壁挂、倒置姿势使用时,特性会发生相应变化,请提前向工程师咨询; | |||||
注7:多轴组合使用因涉及精密轴系装配工艺,请提前向工程师咨询; | |||||
注8:多轴、非标准应用或定制服务,请向工程师咨询; |
提交
博瑞 S560-280LM-E225-600-600-150_Table
博瑞 S280-280LM-E165-500-500-150_Table
博瑞S280-225LM-E165-400-400-200_Table
博瑞 S225-225LM-E165-300-300-150_ Table
博瑞 XY-SWI-LM-560-280-600-600_Table