AWM3300V气体质量流量传感器
- 型号：AWM3300V
- 数量：300
- 制造商：美國
- 有效期：2088/1/12 0:00:00
描述：
AWM3300气体质量流量传感器特点：
● 激光校整保证了一致的互换性；
●测量流速可至1.0LPM 。
AWM3300是输出为1-5V 的气体质量流量传感器，图1、图2、图3 分别为AWM3300气体质量流量传感器内部的发热器控制电路、双传感电路、差分放大电路图。
图1 AWM3300气体质量流量传感器内部的发热器控制电路 图2 AWM3300气体质量流量传感器内部的双传感电路
3图 AWM3300气体质量流量传感器内部的差分放大电路图
AWM3000系列气体质量流量传感器技术规格：10.0±0.01VDC
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AWM3100V
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AWM3150V
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AWM3200V
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AWM3300V
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流量范围（span）
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+200sccm
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+30sccm
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+1000sccm
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压力范围(psi)
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(参照附录)
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±2.0”水柱
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输出电压
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5VDC@
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3.4VDC@
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5VDC@
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5VDC
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@ 标定点
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200sccm
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25sccm
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2”水柱
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1000sccm
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零点电压
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1.00±0.05VDC
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1.00±0.1VDC
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1.00±0.08mV
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1.00±0.1VDC
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零点漂移
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+25~-25˚C
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±25mV
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±100mV
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±25mV
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±25mV
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+25~+85˚C
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输出电压漂移
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Max
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+25~-25˚C
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-4% 读数
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±5.0% 读数
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+24.0% 读数
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-5% 读数
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+25~+85˚C
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+4% 读数
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±5.0% 读数
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-24.0% 读数
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+5% 读数
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重复性& 迟滞Max
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±0.5% 读数
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± 1% 读数
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±0.5% 读数
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±1% 读数
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Min Typ.
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Max.
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电源（VDC）
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8.0 10±0.01
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15 (2)
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功耗（mW）
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50
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60
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反应时间（ms）
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1.0
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3.0 (1)
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共模压力(psi)
<, /TD> |
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25
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工作温度
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-25~85˚C
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储存温度（˚C）
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-40~90˚C
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冲击(5drops,6axis)
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100g峰值(5drops,6axis)
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注：1、信号处理最初预热所须时间最多1 分钟
2、输出电压随电源电压而比率变化
3、差压器件的温漂主要是由气体的浓度随温度而变化
气流器件的温漂主要是薄膜TCR 的系数的二次根及厚膜电阻的温飘，加上运放的温飘
4、为防止损坏，最大允许流量变化值：5.0SLPM/1.0 秒
2、输出电压随电源电压而比率变化
3、差压器件的温漂主要是由气体的浓度随温度而变化
气流器件的温漂主要是薄膜TCR 的系数的二次根及厚膜电阻的温飘，加上运放的温飘
4、为防止损坏，最大允许流量变化值：5.0SLPM/1.0 秒
AWM3000系列气体质量流量传感器推荐型号:
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推荐型号
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量程
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AWM3100V
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+200SCCM
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AWM3201CR
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±0.5 英寸水
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AWM3200V
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±2 英寸水
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AWM3300V
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+1000SCCM
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注：AWM3000系列气体质量流量传感器正向气流方向被定义为从P１孔流向P2孔，并导致正的输出，不要施加超过10磅的力在２个测量空孔的每个方向上。
联系方式:
- 电话：13466310082
- 传真：010-82533965
- email：ysg109@163.com
更多内容请访问 ysg109（http://home.gongkong.com/profile/?uid=2009021709595500001)
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