PULS普尔世电源在光刻机中的应用

关键字：PULS普尔世 导轨式电源 光刻机

引言：在电子行业高速发展的今天，工业设备的精密度不断得到提高，与此同时最终用户对产品本身的性能也提到了新的高度，这就给设备厂家在元器件选择方面提出了更高的要求。作为DIN导轨式电源的标准制定者，PULS普尔世电源以其简约、强劲、高效、稳健的优异性能，越来越得到各个设备厂家的青睐!

一、光刻机设备介绍

激光标刻机的核心部件是YLM系列单模连续波段掺镱光纤激光模块，主要为免维护的OEM应用面设计。YLM二极管泵浦光纤激光通过一条带有金属护套的单模光纤传导光束直径为1.07微米，接近衍射极限（M2<1.05）高质量激光束，高可靠性的直流电源在SCAPS公司专用控制卡的控制下驱动单模连续波段掺镱光纤激光模块、单模连续波段掺镱光纤激光模块发出的970±10nm的激光被耦合到加金属护套的5mm传输光纤中使掺镱双包层光纤中产生1.06微米波长的激光，激光在传输过程中不断被放大后扩束输出。扩束后的激光束投射到振镜扫描器上，通过计算机控制振镜快速转动及激光的开关，使激光束在X、Y方向扫描，通过F-θ透镜聚集形成几微米直径的光斑作用于加工工件上，使之表面瞬间烧蚀，最后在件表面形成需要的各种图形符号。

1、整机结构紧凑，占用空间小，与进口贴片分选设备充分兼容，接口直接配合、简单易用。

2、基础配置，采用进口Fiber（光纤）小功率风冷激光器，高速振镜扫描系统，打印准确精致。

3、激光打印系统控制核心，Laser Marking System购筑在Windows XP平台上，控制软件采用SCAPS软件，控制卡采用高速USB2.0控制输入，性能卓越稳定，使用操作简便，并可根据客户的需求，随时升级程序。

4、根据客户需求，可实现脱机运行操控，一台电脑主机操作多台激光打印终端，标刻终端由PDA操控。

5、国内首创，更小巧，更灵活。

6、直接编辑印章和同时打印多种规格印章，自动记数功能，随意设置标刻数量及统计所标记管子总数，设置数值高达十亿位数。

二、PULS普尔世电源在光刻机上成功应用

1、电压要求

光刻设备工作电压为直流28V，PULS普尔世电源输出电压范围为24-28V，完全符合使用要求。

2、使用方式要求

需要有正负28V电源输出，第一个电源正端与第二个电源的负端共地使用，而且两个输出相互之间不能互扰。

3、电源体积要求

由于设备整机结构紧凑，占用空间小的要求，所以要求电源等各种元器件能够尽量的小巧，不占用更多的空间。该厂家选用PULS普尔世电源ML60.242，尺寸为：45x75x91mm，安装占用空间非常小，得到设备厂家和最终用户的一致认可。

图：PULS普尔世电源ML60.242

4、电源稳定度要求

由于光刻机激光光束需要高可靠性的直流电源，所以在电源的稳定性和纹波上要求非常严格。PULS普尔世电源直流输出电压残余波< 50 mV，波峰切换（20MHz） （在正常值） < 50mVpp，体现了绝佳的输出特性。另外，PULS普尔世电源ML60.242平均无故障时间MTBF高达186.6万小时，工作温度范围更是达到-40℃至+70℃，极大的降低了维护成本。

5、电磁干扰

由于激光雕刻机是一个精密的设备，其电压的好坏直接影响激光的稳定程度，也就直接影响光刻效果，所以其电磁防护等级要求也非常高。不仅自己不能够被外界电磁干扰，以免输出电压精度不高，同时自身也不能够产生干扰，以免干扰其他设备的正常工作。PULS普尔世电源具有完备的EMC及防干扰认证，很好的保证了现场使用的要求。如图：

综上所述，虽然光刻机设备对电源的使用提出了十分高的要求，但是PULS普尔世电源以优越的性能很好的解决了实际过程中遇到的各种难题，把各种任务完成得非常的漂亮，由于完美的表现也赢得了客户的一片赞誉!当然，良好的表现源于良好的硬件功夫，PULS普尔世电源有此卓越的表现，也是源于PULS普尔世电源有很多优异的硬件指标参数和特点。

四、结束语

国内市场电子设备行业的飞速发展，以及技术不断的洗旧革新，无非是要提高设备的效率与稳定性，设备的稳定性源于高可靠性的器件。而设备供电电源是设备非常重要的一个环节，因而对电源的性能势必提出了更高的要求。

相关链接：PULS普尔世电源选型表