德国Aerolas 空气轴承

超精密二维测量平台
应用范围: 半导体技术
应用: 测量孔的通否/过光
行程: 340 mm x 330 mm
绝对定位精度: < 10 nm （全程范围内）
驱动方式: 磨擦轮驱动
最大加速度: 0.25 m/s²


高动态直线电机
采用AeroLas的空气轴承可以使直线电机有极其高的精度和高动态特性：实际加速度达到400 m/s2 (理论上可达 1.000.000 m/s2).
应用于齿轮测量，几年来已连续运行60亿次以上
行程： 100 mm
负载：2 kg


高加速度双轨式直线电机
截面：500 mm x 250 mm)，加速度达300 m/s2且精密定位。 采用空气轴承，受温度变化影响小，电缆不动，行程： 150 mm
负载：10 kg
最大加速度: > 300 m/s2
最大速度: 4.7 m/s