莱茵超精密二维测量平台
2006/3/6 17:42:00
产品简介：
与世界最著名的德国空气轴承生产商Aerolas公司合作为几个电子行业领袖企业生产的设备。
产品分类：运动控制 运动机械部件
品牌：易帝
产品介绍
应用范围: 半导体
技术应用: 测量孔的通否/过光
行程: 340 mm x 330 mm
绝对定位精度: < 10 nm （全程范围内）
驱动方式: 磨擦轮驱动
最大加速度: 0,25 m/s²
技术应用: 测量孔的通否/过光
行程: 340 mm x 330 mm
绝对定位精度: < 10 nm （全程范围内）
驱动方式: 磨擦轮驱动
最大加速度: 0,25 m/s²
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