海德汉 1Dplus二维光栅尺_海德汉_1Dplus

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海德汉 1Dplus二维光栅尺

约翰内斯 · 海德汉博士（中国）有限公司

2011/6/29 10:15:51

产品简介：

海德汉独特的创新型1Dplus二维光栅尺可以测量某个工作台或设备运动时的线性导向误差及温漂误差，因而可以对这些误差进行快速处理和补偿。这就使系统在初次测量时就能精确地完成任务。

产品分类：

离散传感器测量光幕

品牌：

海德汉

产品介绍

如果光栅尺能够测量一个新的维度，那将变得非常新奇。海德汉公司现在就推出了一款1Dplus光栅尺。经过多次研发后，海德汉公司设计出了一款独特的创新型二维光栅尺，它可以测量某个工作台或设备运动时的线性导向误差及温漂误差，因而可以对这些误差进行快速处理和补偿。这就使系统在初次测量时就能精确地完成任务。

目前1Dplus光栅尺最可能的应用领域包括平面工作台、龙门运动结构、晶圆设备以及大型纯平显示器的生产和测试，希望提升任何运动平台性能的用户都将从中受益。

这些具有真正革命意义的1Dplus编码器无摩擦，并在两个维度上都有光栅，配有两个或三个扫描部件，可在X和Y方向上进行同时测量。三个扫描部件可计算支撑扫描部件支架的旋转角度。这些正交编码器光栅可以对新维度进行精确地测量，它们既测量左右方向（X轴）的运动，也测量上下方向（Y轴）的运动（通过控制进行补偿）。海德汉早期和当前使用的1Dplus编码器分别是干涉型线性光栅和LIF400 1Dplus（见图）。测量标准是热膨胀系数为0ppm/K的DIADUR。当前测量长度为300×2mm，今后计划大幅度提高此值。1Dplus本身规格为20×4.9mm。

1Dplus的X轴测量精度等级为±1 μm，包括一个参考标记。光栅周期为8 μm；信号周期为4μm。