MA-0140-000

• 型号：MA-0140-000


• 数量：1


• 制造商：　厦门兴锐达自动化设备有限公司


• 有效期：2019/2/1 0:00:00

高精半导体芯片激光切割控制系统

供稿：MOTEC(中国)营销中心 2015/2/6 13:22:26

星级： 人气：298

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关键词： 芯片 激光切割 高精度

摘要：半导体芯片切割控制精度要求非常高，目前国内基本上用的都是进口设备。此为我公司为某半导体厂家开发的设备。

高精半导体芯片激光切割控制系统

摘要：半导体芯片切割控制精度要求非常高，目前国内基本上用的都是进口设备。此为我公司为某半导体厂家开发的设备。

关键词：芯片 激光切割 高精度

1、系统选型

11.jpg

（1）惯量计算

X轴负载惯量：Jx=Mx(P /2π)2

             = 20.2?（0.005/2?3.14）

             = 0.128?10-4 kgm2

Y轴负载惯量：Jy=My(P/2π)2

             =2.9?（0.005/2?3.14）2

                      = 0.0184?10-4 kgm2

滚珠丝杠：  J2 = πρLBDB4/32

             = 0.405?10-4 kgm2

X轴电机负载惯量： JLX = Jx J2=0.533?10-4 kgm2

Y轴电机负载惯量： JLY= Jy J2=0.4234?10-4 kgm2

400w电机惯量：Jm4= 0.26?10-4 kgm2

750w电机惯量：Jm7=0.87?10-4 kgm2

（2）扭矩计算

由于需要的行程速度是100mm/s到150mm/s，这次速度将以250mm/s=15m/min来计算。

电机转速：NL = VL/P=15/0.005 = 3000（min-1）

             = 3000 ? 2π / 60=314 rad

加速度：a = NL/t =3140 rad/s2

X轴负载转矩：TLX=μMgP / 2πη

            =0.2?20.2?9.8?0.005/2?3.14?0.9=0.035 Nm

Y轴负载转矩：TLY=μMgP / 2πη

            =0.2?2.9?9.8?0.005/2?3.14?0.9=0.00304 Nm

X轴启动转矩：Tpx = (JLX Jm7)●a TLX

= 0.441 0.035 = 0.476 Nm

Y轴启动转矩：Tpy = (JLY Jm4)●a TLY

= 0.215   0.00304 = 0.218 Nm

OMRON  H8BM-BP

NUM ANALOG  263900000

BANNER MINI-SCREEN  GMMDSDINT-1T2

NORTHERN  AD1853N-2

MAGNETIC  SSEM-0609-GM

NSD  VRE-P062SAC

VIC MOTHER BOARD 584-307

ICS ELECTRONICS 488-PCI  

BOSCH  1070073092-301

BOSCH  1070075700-105

NORTEL  NT6D40AB

BOSCH  1070073090-302

ICA  DP30C  PARTS/REPAIR

KAWASAKI  50999-1545R21

CTA GROUP  GTA5501A

PANASONIC ROBOTICS I/O BOARD ZUEP 52122

CONTROL TECHNIQUES CONTROL BOARD SD300  

VIC MOTHER BOARD 584-307 281 345 1008 REV. C

FANUC  2002-T523

ATLAS COPCO TC52P-N

VICKERS SMC20 CONTROLLER BOARD 02-48/675 REV. A

OKUMA  E0241-653-099

SIEB & MEYER CONTROL BOARD 35.01.01.3

ZELLWEGER ANALYTICS CONTROL BOARD 130135

BAUART  TMA31-5/115-230/A02 856223-017

WERA  RE-26XIN

KAWASAKI  60490-1001RA5

VALIDATED  VT360

HONEYWELL  DC200H-0-000-1F0000-0

DRIVECON  KVFR415E  PLASTIC

SIEB & MEYER CONTROL BOARD 42.01.02.1

BANNER  Q60BB6LAF1400Q

COOPER TOOLS TORQUE CONTROL MODULE TM12

HONEYWELL  DC300K-T-000-20-0000-0

SIEB & MEYER CONTROL BOARD 42.01.03A

KAWASAKI  50999-1545R20

KAWASAKI  60490-1001RB1

KAWASAKI  60490-1001RA0

OKUMA  2AE0241-653-095

MSC  KKMMI-TSS / 88215518  

ATLAS COPCO  9810-7050-80 B3.23/F1.43

WERA EMG RECOTEC DISPLAY CARD RE-DTSP

ALLEN BRADLEY 1336-MOD-L3

ATI TOOL  9120-S21-T  

WERA EMG  RE-ME-OT

ABB  74952 PCB P/N 74951

TELEDYNE HASTINGS INSTRUMENTS VACUUM GAUGE TUBE DV-4D    

TELEMECANIQUE 600V MAX PANEL MOUNT BUSBAR AK5 JB145  LOT OF 2

SOFTSWITCHING  DS10012A120VSH1000A  DAMAGE

BANNER MULTI BEAM 10-30VDC SCANNER BLOCK R1TT3  

MOORE SIT/4-20MA/H/117AC/-TX OT  PLASITC

OMRON S8PS-10024C

ALLEN BRADLEY 135355 RV.03

COSEL  MMC75A-1

BALLUFF  BNS519-D4 D12-62-11

TEXAS INSTRUMENTS LOOP ACCESS MODULE PM 550-400

• 电话：0592-5580706/13295922579
• 传真：0592-5361191
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